芯片是信息社會的基石。近年來芯片需求迅速擴大，芯片行業發展備受關注。

　　在芯片製造過程中，不僅需要用到光刻機
、矽片等核心設備或材料
，還需要用到一種特殊氣體，業內稱之為電子特氣。

　　電子特氣廣泛應用於半導體製造的各個工藝流程，參與幾乎每一個環節

，對整個芯片製造來說不可或缺，有半導體製造的“血液”之稱。

　　近年來芯片國產化程度不斷提升，電子特氣作為關鍵領域
，也在加快推進國產化進程。

　　氪氣是電子特氣家族的一員，它作為刻蝕氣體貫穿整個芯片刻蝕過程
，起著清潔刻蝕表麵雜質和保護電路不被氧化的作用。

　　近日
，由河鋼邯鋼研發生產的電子特氣產品“芯片氪”，交付高端科技客戶，質量完全滿足客戶需求。該產品將作為刻蝕氣體替代進口產品
，用於製造IDM集成電路芯片，助力芯片國產化。

　　氪ke氣qi的de純chun度du會hui影ying響xiang到dao集ji成cheng電dian路lu性xing能neng等deng關guan鍵jian指zhi標biao，所suo以yi用yong於yu芯xin片pian製zhi造zao的de氪ke氣qi對dui純chun度du要yao求qiu極ji高gao，生sheng產chan工gong藝yi難nan度du大da。隨sui著zhe芯xin片pian製zhi程cheng的de微wei縮suo，半ban導dao體ti生sheng產chan對dui“芯片氪”等電子特氣的純度提出了更高的要求，而這類高端電子特氣領域長期被國外壟斷，進口價格昂貴。

　　國產“芯片氪”等電子特氣替代進口，可降低國產芯片產業製造成本，有助於提高國產芯片在全球芯片產業中的競爭力。

　　河鋼邯鋼加快培育壯大戰略性新興產業

，充分發揮省級高純特種氣體工程實驗室作用，積極開展航天級稀有氣體研製、電子芯片用特種氣體配製及稀有氣體分離設備關鍵部件研製，不斷加大氪、氖、氙、氬、氖等特種氣體以及混合氣體的市場開發力度，提升氣體產品競爭力。

　　針zhen對dui芯xin片pian製zhi造zao對dui氣qi體ti純chun度du和he雜za質zhi控kong製zhi的de極ji高gao要yao求qiu，河he鋼gang邯han鋼gang高gao純chun特te種zhong氣qi體ti工gong程cheng實shi驗yan室shi技ji術shu人ren員yuan，突tu破po了le電dian子zi特te氣qi國guo產chan化hua的de諸zhu多duo技ji術shu瓶ping頸jing，掌zhang握wo了le多duo項xiang特te氣qi提ti純chun關guan鍵jian技ji術shu
，采cai用yong自zi主zhu研yan發fa的de全quan自zi動dong配pei氣qi裝zhuang置zhi，配pei製zhi出chu多duo種zhong電dian子zi級ji混hun合he氣qi，填tian補bu了le國guo內nei空kong白bai。

　　cicigonghuo，heganghanganggenjukehugongyiliuchenghesuoxukeshiqitidepinzhixuqiu，zhidinglezhuanshugongyifangan，yangeguochengzhiliangkongzhi
，baozhenglechanpingaozhiliangjiaofu，huodekehugaodurenke。xiayibu
，shuangfanghaijiangjiuqitaqitichanpinkaizhanhezuo。